Lehre

Der Laborkurs besteht i. d. R. aus einem Theorieteil und einem praktischen Teil. Im Theorieteil werden die physikalisch-chemischen Grundlagen der Lithographie- und Ätzprozesse erläutert. Dazu kommt eine Einführung in die Mikrostrukturmesstechnik. Im Praxisteil führen die Studierenden unter Anleitung die Strukturierung von Siliziumwafern durch: Der Wafer wird belackt, belichtet, entwickelt und geätzt, die erhaltenen Strukturen werden mit den vorhandenen Messmethoden qualifiziert. Außerdem führen die Studierenden in Zweiergruppen möglichst selbstständig individuelle Kleinprojekte durch oder arbeiten eine Präsentation zu einem Verfahren aus, das im praktischen Teil des Labors nicht behandelt werden kann.