Student Microelectronics Foundry

Die HSRM Student Microelectronics Foundry (SMF) ist eine studentisch organisierte Lehr- und Lernplattform für praktische Mikroelektronik und Mikrosystemtechnik. Studierende entwickeln, fertigen und charakterisieren eigene Bauelemente. Von Dioden und Transistoren bis perspektivisch zu einfachen integrierten Schaltungen.

Dabei verbindet die SMF Chipdesign, Mikrostrukturierung, Dotierung, Metallisierung und elektrische Charakterisierung zu einer durchgängigen Prozesskette. Die Zusammenarbeit zwischen AP-MED, ITE und DCSM verknüpft Halbleiterphysik, Schaltungstechnik, ASIC-/HDL-Design und praktische Fertigung. So können Studierende nicht nur einzelne Fachgebiete kennenlernen, sondern den gesamten Weg vom digitalen Entwurf bis zum selbst gefertigtem realen, vermessenen Bauelement nachvollziehen.

Campus Rüsselsheim
Gebäude E, Raum U05

B. Eng. Manuel Robert Handta
Studentische Projektleitung
Tel. +49 178 5409622

Prof. Dr. Markus Bender Professor für Mikro- und Nanotechnologien

Markus.Bender@hs-rm.de

+49 6142 8984530

Zur Person

Vier Personen in weißen Schutzanzügen, Haarnetzen und Handschuhen stehen in einem Labor. Sie halten verschiedene Objekte in den Händen. Die Umgebung ist hell und sauber, mit Geräten und Arbeitsflächen im Hintergrund.

Zwei kleine braune Flaschen stehen nebeneinander. Beide haben weiße Schraubverschlüsse und sind mit einem Etikett versehen, auf dem "N-SD" steht. Die linksstehende Flasche ist kleiner als die rechtsstehende.

Eine quadratische, dunkle Oberfläche mit einer zentralen Reihe von vertikalen Linien und horizontalen Balken. An den Ecken befinden sich kleine, helle Quadrate. Das Bild zeigt wahrscheinlich eine technische Komponente oder einen Sensor.

Die Abbildung zeigt eine enge Ansicht einer Leiterplatte mit einem komplexen Muster aus Schaltkreisen und Verbindungen auf einer grünen Oberfläche. Mehrere Kontaktpunkte sind sichtbar, einige mit Lötstellen. Die Struktur vermittelt den technischen Charakter eines elektronischen Bauteils.

Das Bild zeigt eine präzise Maschinenkomponente mit einem runden Tisch und mehreren beweglichen Teilen. Die Struktur besteht aus Metall und ist für technische Anwendungen konzipiert. Ein Kabel ist sichtbar, das mit der Anlage verbunden ist.

Herstellung mikroelektronischer Bauelemente
Entwicklung eigener Fertigungs- und Messgeräte
Reverse Engineering integrierter Schaltungen
Open-Source-Chipdesign
Mikrosystemtechnik, MEMS und Mikrofluidik

Eigene Systeme wie Lithographieeinheiten, Spin-Coater, Probestationen oder Charakterisierungsaufbauten sollen möglichst offen dokumentiert und als Open-Source-Hardware weiterentwickelt werden. Dadurch lernen Studierende nicht nur, mikroelektronische Strukturen zu fertigen, sondern auch die dafür notwendige Labor- und Prozessinfrastruktur selbst zu entwickeln und zu verbessern.

Erste pn-Übergänge, Dioden- und Solarzellenprototypen sowie eigene Spin-on-Dopants wurden bereits hergestellt. Aktuell werden reproduzierbare Transistorfertigung, neue Fertigungsschritte und weitere Open-Hardware-Geräte entwickelt. Langfristig soll die Plattform auch in Lehrveranstaltungen sowie in interdisziplinäre Projekt- und Abschlussarbeiten integriert werden.

Gesucht werden interessierte und engagierte Studierende aller Fachrichtungen und Erfahrungsstufen. Eine Mitarbeit ist sowohl aus persönlichem Interesse als auch im Rahmen von Projekt-, Bachelor- oder Masterarbeiten möglich. Themen gibt es unter anderem in den Bereichen Chipdesign, Elektronik, Konstruktion, Programmierung, Prozessentwicklung und Messtechnik.

Wir freuen uns über Spenden, Leihgaben und Nutzungsmöglichkeiten – natürlich nur, wenn etwas entbehrt werden kann. Halbleitertechnik ist teuer: Eine Box Wafer kostet beispielsweise schnell rund 2.000 Euro. Deshalb freuen wir uns über alles, womit wir Kosten sparen und älteren Geräten ein neues Leben geben können. Gerne können auch eigene Vorschläge ergänzt werden. Unter dem folgenden QR-Code findet sich eine Liste mit Geräten und Materialien, die wir gut gebrauchen könnten.