Lehre
Lehrveranstaltungen
Vakuumtechnik im Bachelor-Studiengang Physikalische Technik
Im Labor Vakuumtechnik/Dünnschichttechnologie werden im Rahmen einer Lehrveranstaltung von 6 Semesterwochenstunden (2 Theorie, 4 Labor) folgende Inhalte vermittelt:
- kinetische Gastheorie
- Methoden und Apparaturen zur Erzeugung von Vakua
- Messung des Saugvermögens von Vakuumpumpen
- Druckmessung in den verschiedenen Vakuum-Bereichen
- Partialdruckmessung (Massenspektrometrie)
- Erzeugung und Charakterisierung von Niederdruckplasmen (Langmuir-Sonde)
- Messung der Permeation
- Bestimmung der Ausgasrate von vakuumtechnischen Werkstoffen
- Anwendung von Vakuumanlagen zur Herstellung dünner Schichten (thermische Verdampfung, Magnetron-Sputtern)