Student Micro Foundry (SMF)
| Projektname: | HSRM Student Micro Foundry (SMF) – Studentisch organisierte Lehr- und Lernplattform für Mikroelektronik |
| Fachbereich: | Ingenieurwissenschaften - Angewandte Physik (fachbereichsübergreifend mit ING-ITE und DCSM) |
| Leitung: | B.Eng. Manuel Robert Handta Prof. Dr. Markus Bender |
| Projektbeteiligte: | ING-AP: Prof. Dr. Stefan Kontermann, Prof. Dr. Daniel Münstermann, M.Sc. Martin Sommer, Dipl.-Ing. Alexander Dörr, B.Sc. Dennis Hunter, B.Sc. Florian Neff, B.Sc. Simon Kreuels ING-ITE: Matthias Harter DCSM: Prof. Dr. Steffen Reith, Prof. Dr. Marc Stöttinger, M.Sc. Tim Henkes |
| Standort: | Hochschule RheinMain, Am Brückweg 26, 65428 Rüsselsheim am Main, Gebäude A – Raum U05 |
| Laufzeit: | 01.04.2026 – 31.03.2028 |
| Finanzierende Institution oder Auftraggeber: | Hochschule RheinMain – Mittel zur Verbesserung der Qualität der Studienbedingungen und der Lehre (QSL) |
Projektbeschreibung
Die HSRM Student Micro Foundry (SMF) schafft eine studentisch organisierte Lehr- und Lernplattform, in der Studierende einfache mikroelektronische Bauelemente selbst entwickeln, fertigen und charakterisieren. Ziel ist eine durchgängige Prozesskette vom ASIC-/HDL-Design über Lithographie, Dotierung und Metallisierung bis zur elektrischen Charakterisierung realer Bauelemente.
Die SMF schließt eine zentrale Lücke in der Lehre: Mikroelektronik wird häufig theoretisch oder simulationsbasiert vermittelt, während die physische Fertigung wegen hoher Anlagenkosten meist unsichtbar bleibt. Durch didaktisch kontrollierte und reproduzierbare Prozesse lernen Studierende, wie aus Material, Layout, Prozessführung und Messtechnik funktionale Strukturen entstehen – von pn-Übergängen und Dioden über Transistoren bis perspektivisch zu einfachen integrierten Schaltungen.
Neben der Nutzung vorhandener Infrastruktur ist der Aufbau eigener, offener Prozessgeräte ein zentrales Ziel, etwa Lithographieeinheiten, Spin-Coater, Dotier- und Temperprozesse, Probestations-Erweiterungen und Charakterisierungsaufbauten. Orientiert an internationalen Open-/HackerFab-Ansätzen werden diese Systeme offen dokumentiert, reproduzierbar aufgebaut und kontinuierlich weiterentwickelt. So lernen Studierende nicht nur, Mikroelektronik zu fertigen, sondern auch die dafür notwendige Laborinfrastruktur technisch zu verstehen.
Roadmap
- 2024–26: Machbarkeitsstudie – pn-Übergänge, Spin-On-Dopant (SOD) und erste PV-/Diodenprototypen
- SoSe 26: Reproduzierbare Transistorstrukturen und elektrische Charakterisierung
- WiSe 26: Verschaltung einzelner Bauelemente zu einfachen Logikfunktionen
- SoSe 27: Erster einfacher integrierter Schaltkreis
- Vision: Offene Lehr- und Lernplattform für Mikroelektronik, MEMS, MST und Mikrofluidik
Fachbereichsübergreifender Mehrwert
Die SMF verbindet Studierende aus AP-MED, ITE und DCSM über eine gemeinsame Prozesskette aus MEMS-Sensorik, Mikroelektronik, Chipdesign und Charakterisierung. Durch praktische Arbeit an realen Mikrotechnologieprozessen entsteht eine gezielte Ausbildungs- und Promotionsvorbereitung für die Qtech-Initiative – von studentischen Projekten und Masterarbeiten bis zu weiterführenden Themen in Quantensensorik, Elektronenstrahllithographie und integrierten Mikrosystemen.
Förderung
Die QSL-Mittel ermöglichen den strukturierten Aufbau einer stabilen Lehrinfrastruktur: Koordination, Sicherheitskonzept, Prozessdokumentation (SOPs), Geräteergänzungen, Verbrauchsmaterialien und die Integration in bestehende Lehrangebote. So entsteht eine nachhaltige Plattform für projektorientierte Lehre, Abschlussarbeiten und spätere Projekte in MEMS, Mikrofluidik, Sensorik und sensorintegrierten Mikrosystemen.
