MINIMISE
Mikro-Nano-Interfacing für MEMS-integrierte Sensorik. BMBF, 01.03.2025 – 28.02.2029
Diffralicht
Diffraktiv optische Elemente zur Lichtlenkung in transparenten Medien BMBF 01.01.2020 – 31.12.2023
UltraLIMO
Ultrakurzpuls-Lasermaterialfunktionalisierung für innovative mikrooptische Bauelemente BMBF 01.07.2017 – 30.06.2019
FemtoBlack
Femtosecond laser sulfur hyperdoped black silicon for infrared photonics application. BMBF 01.05.2020 – 31.12.2023
LasDif
Bestimmung der Dauer von ultrakurzen Laserpulsen mittels diffraktiv optischen Elementen. HMWK, 01.06.2018 – 30.09.2019
KPM
Entwicklung und Integration von kleinen und präzisen MEMS Mikrosensoren für selektive Wasserstoffmessung. Hessen Agentur, 01.10.2021 – 31.09.2022