Mitglieder im Institut für Mikrotechnologien sind 7 Professoren des FB Ingenieurwissenschaften sowie ein Honorarprofessor (GSI Darmstadt), 7 wissenschaftliche und technische Mitarbeiter (davon 3 Doktoranden) sowie eine wechselnde Zahl studentischer Mitarbeiter (z.B. im Rahmen ihrer Master- bzw. Bachelor-Arbeiten).

Die Forschungsschwerpunkte und die durchgeführten F&E-Projekte des IMtech sind thematisch der Mikrosystemtechnik zuzuordnen. Zunehmend haben sich in jüngster Zeit die Forschungsarbeiten in Richung Nanotechnologie verlagert, indem insbesondere an der Schnittstelle zwischen Mikro- und Nanowelt geforscht wird.

Das zeigt sich u.a. an mehreren Projekten, bei denen die Mikro-Nano-Integration, d.h. die Erschließung von Nanostrukturen durch Ankopplung an die Makrowelt mit Hilfe von Mikrosystemen, erfolgreich umgesetzt wird. Forschungsarbeiten werden am IMtech im Rahmen öffentlich geförderter Projekte (BMBF, DFG, EU, LOEWE u.a.) und direkt industriefinanzierter F&E-Aufträge durchgeführt. Technologische Basis für diese Projekte ist ein Reinraum (Klasse 1) sowie eine moderne und umfangreiche Laborausstattung im Bereich der Beschichtungstechnologie (z.B. DC- und HF-Magnetronsputtern, E-beam-Verdampfung), Lithographie, Ätztechnologie (z.B. RIE, IBE), Messtechnik und Analytik (z.B. REM, AFM, Chromatographie).

Forschungsarbeiten wurden bzw. werden in folgenden Arbeitsfeldern durchgeführt:

• Mikrooptik (DOE, CGH, mikrostrkturierte Wellenleiter)
• Mikrofluidik (Drucksensoren)
• Mikro-Nano-Integration (Nanodrähte)
• Mikrosensorik (thermische Gas- und Vakuumsensoren)
• Medizintechnik (Biokompatibilität)
• Mikroanalytik (Feinstaubanalyse)
• Mikro-Nano-Srukturierung (RIE, IBE, 3D-Strukturierung)

Am 5.12.2011 wurde das IMtech zusammen mit den Firmen TOPAG Lasertechnik GmbH und GD Optical Competence GmbH von Wirtschaftsminister Dieter Posch mit dem 1. Platz des 5.Hessischen Kooperationspreises ausgezeichnet.

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