Prof. Dr. rer. nat. habil. Friedemann Völklein | Direktor Institut für Mikrotechnologien

Allgemein:

Raumnummer: A 106
E-Mail: friedemann.voelklein(at)remove-this.hs-rm.de
Telefon: +49 (0) 6142 898-4531
Fax: +49 (0) 6142 898-4528

Anschrift:

Am Brückweg 26
65428 Rüsselsheim

Liste der wissenschaftlichen Publikationen (ab 2000)

5H. Beyer, J. Nurnus, H. Böttner, A. Lambrecht, A. Heinrich, J. Schumann, C. Kleint, F. Völklein, M. Blumers, L. Schmitt: Low Dimensional Thermoelectric Materials for Energy Conversion Materials Week 2000, München, 25. - 29. September 2000
6F. Völklein: Characterization of the thermal properties of thin films by using diagnostic microstructures (invited) UEF-Conf. on Heat Transfer and Transport Phenomena in Microscale, Banff, Canada, October 15-20, 2000
7F. Völklein, A. Maier, M. Blumers: Thermoelectric Microsystems (MEMS) fabricated by Standard IC-Technology and Micomachining Proc. XIX. Int. Conf. on Thermoelectrics (ICT) 2000, Cardiff, UK (2000)
8F. Völklein: Characterization of the thermal properties of bulk and thin-film materials by using diagnostic microstructures (invited) Symposium on Microtechnology in Metrology and Metrology in Microsystems, Delft, The Netherlands, 31 August – 1 September 2000
9F. Völklein, T. Zetterer Einführung in die Mikrosystemtechnik-Grundlagen und Praxisbeispiele Lehrbuch, Vieweg-Verlag, Braunschweig/Wiesbaden, 2000
10H. Beyer, A. Lambrecht, J. Nurnus, H. Böttner, J. Schumann, A. Heinrich, L. Schmitt, M. Blumers, F. Völklein: High Figure of Merit ZT in PbTe and Bi2Te3 Based Superlattice Structures by Thermal Conductivity Reduction Proc. XX. Int. Conf. on Thermoelectrics (ICT) 2001, Peking, VR China (2001)
11J. Rüter, A. Meier, F. Völklein Untersuchungen zur Herstellung von Lichtwellenleiter-Strukturen in Glassubstraten mittels Photolithographie und Silber-Diffusion Abschlußbericht für SCHOTT AG Mainz zum Forschungsprojekt CHANGE; Rüsselsheim, 2001
12J. Nurnus, H. Böttner, C. Künzel, U. Vetter, A. Lambrecht, J. Schumann, F. Völklein Thin film based thermoelectric energy conversion systems Proc. XXI. Int. Conf. on Thermoelectrics (ICT) 2002, Long Beach, USA (2002)
13A. Meier, F. Völklein Realisierung von Lichtwellenleiter-Strukturen in Gläsern durch Ionenaustausch Abschlußbericht für SCHOTT AG Mainz zum Forschungsprojekt CHANGE II; Rüsselsheim, 2002
14A. Meier, F. Völklein Realisierung von Lichtwellenleiter-Strukturen in Gläsern durch Ionenaustausch Abschlußbericht für SCHOTT AG Mainz zum Forschungsprojekt CHANGE III; Rüsselsheim, 2002
15A. Meier, F. Völklein Realisierung von Diffraktionsoptiken in Gläsern durch Ionenaustausch Abschlußbericht für SCHOTT AG Mainz zum Forschungsprojekt DIFOPT; Rüsselsheim, 2003
16A. Meier, F. Völklein Mikrostrukturierte Metallisierungen (Busbars) auf ITO-Substraten Abschlußbericht für SCHOTT AG Mainz zum Forschungsprojekt METTCO; Rüsselsheim, 2003
17A: Meier, F. Völklein, E. Pawlowski Mikrooptische Bauelemente als Komponenten für Mikrosysteme TTN-Jahresveranstaltung "Mikrosystemtechnik - Anwendungen und Potentiale" Darmstadt, 2003
18J. Schumann, C. A. Kleint, H. Vinzelberg, J. Thomas, M. Hecker, J. Nurnus, H. Boettner, A. Lambrecht, C. Künzel, F. Voelklein Micromachined thermoelectric test device based on silicon/germanium superlattices: Simulation, preparation and characterization of thermoelectric behavior Proc. XXII. Int. Conf. on Thermoelectrics (ICT) 2003, La Grande-Motte, France (2003)
19A: Meier, F. Völklein Realisierung von Phasenrelief-Strukturen für diffraktive mikrooptische Komponenten in Gläsern durch RIE und IBE Abschlußbericht für SCHOTT AG Mainz zum Forschungsprojekt DIFOPT II; Rüsselsheim, 2004
20A. Meier, F. Völklein Mikrostrukturierung von Glas durch RIE und IBE Abschlußbericht für SCHOTT AG Mainz zum Forschungsprojekt GLATCH 4; Rüsselsheim, 2004
21F. Völklein, A. Meier, M. Blumers Chapter 24: Measurement of the thermal conductivity of thin films in Thermoelectrics Handbook: Macro to Nano-Structured Materials (Ed. D. M. Rowe) CRC Press LLC, Boca Raton (2005)
22F. Völklein, A. Meier Chapter 47: Thermoelectric microelectromechanical systems (MEMS) in Thermoelectrics Handbook: Macro to Nano-Structured Materials (Ed. D. M. Rowe) CRC Press LLC, Boca Raton (2005)
23F. Völklein: Chap. 7: Thermal-based Microsensors, in IEEE-MEMS-Handbook (Eds. O. Paul, J. Korvink) Noyes Publications, William Andrew Publishing, LLC (2005)
24F. Völklein, T. Zetterer Praxiswissen Mikrosystemtechnik Lehrbuch, 2. überarbeitete Auflage; Vieweg-Verlag, Braunschweig/Wiesbaden, 2005
25A. Meier, F. Völklein Herstellung von Phasenreliefstrukturen in PtCrIr-Schichten Abschlußbericht für SCHOTT GLAS Mainz zum Forschungsprojekt PRÄSTE; Rüsselsheim, Februar 2005
26F. Völklein, A. Meier, B. Schreder, R. Liebald, E. Pawlowski Novel techniques for micropatterning of glasses Proc. 3rd DGG-Symposium "Novel Optical Technologies", Würzburg 2005
27F. Völklein Mikrooptische Bauelemente als Komponenten für Mikrosysteme Forum MST; Messe Microsys/Control, Sinsheim 2005
28S. Brantzen, F. Völklein, B. Menges, U. Langbein Thermo-optical Detection of Surface Plasmon Resonance Proc. DGaO-Symposium, Wrozlaw 2005
29A. Meier, F. Völklein Untersuchung von RIE-Prozessen in Spezialglas VSM 26503 Abschlußbericht für SCHOTT AG Mainz zum Forschungsprojekt Ge-RIE; Rüsselsheim, November 2005
30T. W. Cornelius, F. Völklein, M.E. Toimil-Molares, S. Karim, R. Neumann Growth and preparation of Bi nanowires and measurements of their thermoelectric properties Proc. 4th European Conf. on Thermoelectrics, Ed. by D.M. Rowe, Cardiff, UK (2006) 161-166
31F. Völklein Entwicklung und Anwendung von Vakuum-Mikrosensoren Forum Mikrosystemtechnik, Messe Microsys, Sinsheim 9. - 12. Mai 2006
32J. Weber, K. Potje-Kamloth, F. Haase, P. Detemple, F. Völklein, T. Doll Coin-size coiled-up polymer foil thermoelectric power generator for wearable electronics Sensors and Actuators A 132 (2006), 325-339
33F. Völklein, A. Meier Physical and technological aspects of MEMS vacuum packaging (invited paper) Proc. WS-18 Conference, June 26-30, 2006, Salamanca (Spain)
34F. Völklein, A. Meier Microstructured vacuum gauges and their future perspectives (invited paper) Proc. of Joint Meeting of the German Vacuum Society, The Polish Vacuum Society, The Swedish Vacuum Society, Swiss Vacuum on "Vacuum Based Science and Technology", October 10-13, 2006 Darmstadt, Germany
35S. Brantzen, F. Völklein, W. Knoll, B. Menges A new sensor for the thermo-optical detection of surface plasmon resonance Sensors and Actuators A 135 (2007) 492-501
36W. Leneke, J. Schieferdecker, M. Schulze, M. Simon, K. Storck, B. Forg, F. Völklein Thermopile Linear Array Sensor and Modules with Short Time Constant and High Sensitivity Proc. Sensor + Test 2007, Nürnberg, 22-24 May 2007
37S. Stille, M. Schönleber, F. Völklein Improvement of optical distance sensors by using diffractive optical elements (DOE) Proc. 81. Glastechnische Tagung der DGG, Aachen 4.-6. Juni 2007
38S. Martens, J. Wilde, E. Zukowski, F. Völklein Optimierung von Drahtbondverbindungen durch automatische Parametervariation PLUS 12 (2007) 2425-2429
39F. Völklein, A. Meier Microstructured vacuum gauges and their future perspectives Vacuum 82 (2008) 420-430
40S. Martens, J. Wilde, E. Zukowski, F. Völklein, M. Ledermann Optimisation of Wirebond Interconnects by Automated Parameter Variation 9th Int. Conf. on Thermal, Mechanical and Multiphysics Simulation and Experiments in Micro-Electronics and Micro-Systems, EuroSimE (2008
41F. Völklein, M. Schild, A. Meier Microelectromechanical sensors for measuring gas pressure (invited paper) Journal of Physics, Conference Series 100 (2008) 092004 IVC-17 Conference, July 2-5, 2007, Stockholm
42T.W. Cornelius, O. Picht, S. Müller, R. Neumann, F. Völklein, S. Karim, J.L. Duan Burnout current density of bismuth nanowires Journal of Applied Physics 103 (2008) 103713
43S. Martens, B. Krueger, W. Mack, F. Völklein, J. Wilde Alternative Low-Cost Preparation Method für Exposing IC Surfaces in Stacked Die Packages by Micro-Abrasive Blasting ESREF 2008, Maastricht 29. September-2. October
44S. Martens, B. Krueger, W. Mack, F. Völklein, J. Wilde Low-cost preparation method für exposing IC surfaces in stacked die packages by micro-abrasive blasting Microelectronics Reliability 48 (2008) 1513-1516
45F. Völklein Design and application of thermal-based microsensors IMM Young Scientists workshop, Mainz (Germany) November 11-12, 2008
46F. Völklein, H. Reith, T. Cornelius, C. Trautmann, R. Neumann, Preparation and Electrical/Thermal Characterization of Nanowires and their Applications for Gas Flow Sensors; Conference Proceedings Nanofair 2008, S. 61-64
47M. Schmitt, H. Reith, F. Völklein, O. Picht, S. Müller, M. Rauber, R. Neumann, W. Ensinger Measurement of transport properties of metallic nanowires NanoSolutions 2008, Frankfurt am Main
48R. Neumann, F. Völklein, M. E. Toimil-Molares, S. Müller, O.Picht, M. Reith, M. Schmitt Microchips for the investigation of thermal and electrical properties of individual nanowires GMM-Workshop Mikro-Nano-Integration, Seeheim 12.-13. 03. 2009
49F. Völklein, R. Neumann, S. Müller, O. Picht, H. Reith, M. Schmitt Preparation and Characterization of thermoelectric Nanowires Verhandlungen der Deutschen Physikalischen Gesellschaft, DPG Spring Meeting, Dresden 2009 Topical Talk, Focused Session: Thermoelectric Thin Films and Nanostructures
50F. Völklein, M. Schmitt, T. W. Cornelius, O. Picht, S. Müller, R. Neumann Microchip for the measurement of Seebeck coefficients of single nanowires J. Electron. Materials Feb. (2009), DOI: 10.1007/s11664-009-0714-6