VAKUUMTECHNIK

Labor für Vakuumtechnik

Kurzbeschreibung

Schwerpunkt der Labor-Lehrveranstaltung ist die praktische, experimetelle Arbeit der Studierenden an den Laborapparaturen. Dadurch werden wichtige Fähigkeiten und Erfahrungen für die spätere berufspraktische Tätigkeit im F&E-Bereich oder in der industriellen Produktion und Applikation vermittelt.

 

Lehrveranstaltungen

Vakuumtechnik im Bachelor- Studiengang Physikalische Technik

 

Inhalt

Im Labor Vakuumtechnik/Dünnschichttechnologie werden im Rahmen einer Lehrveranstaltung von 6 Semesterwochenstunden (2 Theorie, 4 Labor) folgende Inhalte vermittelt:


kinetische Gastheorie 
Methoden und Apparaturen zur Erzeugung von Vakua
Messung des Saugvermögens von Vakuumpumpen
Druckmessung in den verschiedenen Vakuum-Bereichen
Partialdruckmessung (Massenspektrometrie)
Erzeugung und Charakterisierung von Niederdruckplasmen (Langmuir-Sonde)
Messung der Permeation
Bestimmung der Ausgasrate von vakuumtechnischen Werkstoffen
Anwendung von Vakuumanlagen zur Herstellung dünner Schichten (thermische Verdampfung, Magnetron-Sputtern)

 

Kontakt

Prof. Dr. Friedemann Völklein

Fachgebiet: Vakuumtechnik, Mikrosystemtechnik

 

Telefon: +49  (0)6142 - 898-4531

Telefon: +49  (0)6142 - 898-4581

Telefon: +49  (0)6142 - 898-4524