Kurzbeschreibung

Schwerpunkt der Labor-Lehrveranstaltung ist die praktische, experimetelle Arbeit der Studierenden an den Laborapparaturen. Dadurch werden wichtige Fähigkeiten und Erfahrungen für die spätere berufspraktische Tätigkeit im F&E-Bereich oder in der industriellen Produktion und Applikation vermittelt.

Lehrveranstaltungen

Vakuumtechnik im Bachelor- Studiengang Physikalische Technik

Inhalt:

Im Labor Vakuumtechnik/Dünnschichttechnologie werden im Rahmen einer Lehrveranstaltung von 6 Semesterwochenstunden folgende Inhalte vermittelt:

Grundlagen der Vakuumtechnik:

• kinetische Gastheorie Methoden und Apparaturen zur Erzeugung von Vakua
• Messung des Saugvermögens von Vakuumpumpen Druckmessung in den verschiedenen Vakuum-Bereichen
• Partialdruckmessung (Massenspektrometrie)
• Erzeugung und Charakterisierung von Niederdruckplasmen (Langmuir-Sonde)
• Messung der Permeation Bestimmung der Ausgasrate von vakuumtechnischen Werkstoffen
• Anwendung von Vakuumanlagen zur Herstellung dünner Schichten (thermische Verdampfung, Magnetron-Sputtern)

Kontakt

Prof. Dr. Friedemann Völklein

Fachgebiet: Vakuumtechnik,
Mikrosystemtechnik,
Thermoelektrische Materialien